激光干涉儀的校準與精度驗證?以及功能及調整
點(diǎn)擊次數：1438 更新時(shí)間：2020-02-11
激光干涉儀，即是一種以激光波長(cháng)為已知長(cháng)度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長(cháng)度測量的工具。今天，以下是關(guān)于它的校準與精度驗證以及功能及調整敘述。
激光干涉儀的校準與精度驗證如下：
激光干涉儀在購置投入使用前應進(jìn)行關(guān)鍵性能的驗證。且隨著(zhù)使用年限的增加，激光干涉儀(包括環(huán)境補償系統)的性能可能會(huì )因老化或使用不當出現衰退，對測量精度造成影響。因此需要定期對激光干涉儀測量系統的關(guān)鍵性能參數進(jìn)行校準，以確保在精密測量應用中獲得準確的數據結果。
根據國家計量檢定規程的要求，需要對激光干涉儀激光頻率、測距誤差、測角誤差、環(huán)境補償傳感器進(jìn)行定期校準。
激光干涉儀的功能及調整如下：
1、可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，滿(mǎn)足機床誤差修正的要求。
2、具有實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度等幾何量的檢測功能?？梢詸z測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備運動(dòng)導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等;同時(shí)也能檢測運動(dòng)導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線(xiàn)度;并可以校準機床的回轉軸。
3、內置國內外通用的標準?？梢罁鞣N不同的機床標準分析處理數據，并可打印相應的曲線(xiàn)圖和數據報告。
4、具有動(dòng)態(tài)測量及測量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機床振動(dòng)測量與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅動(dòng)系統的響應特性分析，導軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。
